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光學(xué)薄膜的特點(diǎn)及測厚檢測設(shè)備介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-11-23
光學(xué)薄膜的特點(diǎn)及測厚檢測設(shè)備介紹
由薄的分層介質(zhì)構(gòu)成的,通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W(xué)介質(zhì)材料。光學(xué)薄膜的應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代?,F(xiàn)代,光學(xué)薄膜已廣泛用于光學(xué)和光電子技術(shù)領(lǐng)域,制造各種光學(xué)儀器。
光學(xué)薄膜的特點(diǎn)是:表面光滑,膜層之間的界面呈幾何分割;膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變,但在膜層內(nèi)是連續(xù)的;可以是透明介質(zhì),也可以是吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。實(shí)際應(yīng)用的薄膜要比理想薄膜復(fù)雜得多。這是因?yàn)椋褐苽鋾r(shí),薄膜的光學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料,其表面和界面是粗糙的,從而導(dǎo)致光束的漫散射;膜層之間的相互滲透形成擴(kuò)散界面;由于膜層的生長、結(jié)構(gòu)、應(yīng)力等原因,形成了薄膜的各向異性;膜層具有復(fù)雜的時(shí)間效應(yīng)。
測量方法非接觸式/光譜干涉儀
測量對象電子、光學(xué)用透明平滑薄膜、多層薄膜
測量原理光譜干涉儀
產(chǎn)品特點(diǎn)實(shí)現(xiàn)高測量重復(fù)性(± 0.01 μm 或更小,取決于對象和測量條件)
不易受溫度變化的影響
可以制造用于研究和檢查的離線型和制造過程中使用的在線型。
反射型允許從薄膜的一側(cè)測量
只能測量透明涂膜層(取決于測量條件)
產(chǎn)品規(guī)格測量厚度1 至 50 μm(用于薄材料)、10 至 150 μm(用于厚材料)
測量長度50-5000 毫米
測量間距1 毫米 ~
小顯示值0.001 微米
電源電壓ac100 伏 50/60 赫茲
工作溫度限制5~45℃(測量時(shí)溫度變化在1℃以內(nèi))
濕度35-80%(無冷凝)
測量區(qū)域φ0.6毫米
測量間隙約 30 毫米
關(guān)鍵詞:檢測設(shè)備
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