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實(shí)驗(yàn)室凈化儀器的特點(diǎn)有哪些?

發(fā)布時(shí)間:2024-10-19
實(shí)驗(yàn)室凈化工程就是控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。實(shí)驗(yàn)室凈化主要分為亂流式、層流式和復(fù)合式。
1、亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(hepa)進(jìn)入潔凈工程室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低,潔凈室的擴(kuò)充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。
2、層流式
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型,空氣由覆蓋過濾器后進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為class1~100。其型式可分為水平層流式和垂直層流式。
水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
垂直層流式,房間天花板以u(píng)lpa過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。復(fù)合式,復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
3、實(shí)驗(yàn)室凈化的主要方法有通風(fēng):實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常由于實(shí)驗(yàn)時(shí)間長(zhǎng),人員多和實(shí)驗(yàn)過程中產(chǎn)生一些有害氣體,造成空氣污濁,對(duì)人體不利。為了防止實(shí)驗(yàn)室工作人員吸入或咽入一些有毒的、可致病的或毒性不明的化學(xué)物質(zhì)和有機(jī)氣體,實(shí)驗(yàn)室中應(yīng)有良好的通風(fēng),必要時(shí)應(yīng)設(shè)空調(diào)。
4、實(shí)驗(yàn)室凈化控制濕度和溫度:實(shí)驗(yàn)室要求適宜的溫度和濕度。室內(nèi)的小氣候,包括氣溫、濕度和氣流速度等,對(duì)在實(shí)驗(yàn)室工作的人員和儀器設(shè)備有影響。夏季的適宜溫度應(yīng)是18-28℃,冬季為16-20℃,濕度在30%(冬季)-70%(夏季)之間。除了特殊實(shí)驗(yàn)室外,溫濕度對(duì)大多數(shù)理化實(shí)驗(yàn)影響不大,但是天平室和精密儀器室應(yīng)根據(jù)需要對(duì)溫濕度進(jìn)行控制。實(shí)驗(yàn)室凈化控制潔凈度:經(jīng)常保持實(shí)驗(yàn)室的清潔是非常重要的。室外大氣中的塵埃,借通風(fēng)換氣過程會(huì)進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室,實(shí)驗(yàn)內(nèi)含塵量過高,空氣不凈,不但影響檢測(cè)結(jié)果,而且,其微粒落在儀器設(shè)備的元件表面上,可能構(gòu)成障礙,甚至造成短路或其他潛在危險(xiǎn)。潔凈實(shí)驗(yàn)室是要花銀子的,建議不是特殊需要可不進(jìn)行潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),若有需要可以對(duì)大型精密儀器室、特殊實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行設(shè)計(jì),一般達(dá)到萬(wàn)級(jí)凈化要求即可。若有多個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室,送排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)各自獨(dú)立設(shè)計(jì),獨(dú)立使用。
關(guān)鍵詞:凈化工程 芯片 空氣過濾器 工作臺(tái)
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