隨著航空航天、精密儀器、光學(xué)和激光技術(shù)的迅速發(fā)展,以及人造衛(wèi)星姿態(tài)控制和遙測器件、光刻和硅片加工設(shè)備等各種高精度平面、曲面和復(fù)雜形狀零件的加工需求日益迫切,超精密數(shù)控車床加工的應(yīng)用范圍日益擴(kuò)大。它的特點(diǎn)是可以直接加工出具有納米級表面光潔度和亞微米級形面精度的表面,借以實(shí)現(xiàn)各種優(yōu)化的、高成像質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),并促使光學(xué)電子設(shè)備的小型化、陣列化和集成化。
超精密加工機(jī)床與一般機(jī)床相比較的話,差別就是加工精度差別很大,由加工精度引起的差異,導(dǎo)致在普通機(jī)床上,設(shè)計(jì)者們根本不重視不考慮熱變形、力變形、振動(dòng)、定位及材料等因素,而在超精密機(jī)床上卻恰恰相反,這些無一不影響著超精密機(jī)床加工出來的產(chǎn)品的精度。
除此之外,機(jī)械加工產(chǎn)品的質(zhì)量從加工精度上可以分為普通加工,精密加工,高精密加工和超精密加工四種。普通加工的精度在10~100um,精密加工精度在3~10um,高精密加工精度在0.1~3um,而精度要求高于0.1um的屬于超精密加工的精度。由此可見,超精密機(jī)床在這方面可謂遠(yuǎn)遠(yuǎn)甩掉一般機(jī)床幾條街。不過,有國內(nèi)的機(jī)床制造水平仍存在較大的提升空間,