以白光干涉技術(shù)為原理的3d光學(xué)輪廓儀，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2d，3d表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。
3d光學(xué)輪廓儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
3d表面輪廓儀結(jié)構(gòu)組成：
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量；
6、微電子表面分析和mems表征。
主要應(yīng)用領(lǐng)域：
1、用于太陽能電池測量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（flatness)測量；
4、用于機(jī)械部件的計量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。
3d光學(xué)輪廓儀設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能，以及粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。