潔凈室空氣凈化的設(shè)計要點
1.系統(tǒng)
室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)。
2.潔凈度與換氣次數(shù)
房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數(shù)，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求，再決定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。
3.結(jié)構(gòu)
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行結(jié)構(gòu)設(shè)計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
4.設(shè)計方案
要確定設(shè)計方案，必須先對房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進行認真的考慮。發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠離其它車間。
5.材料
作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學性能是否穩(wěn)定。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進入室內(nèi)，要達到這個目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當?shù)男迈r空氣。
7.輔助設(shè)備
必要時還得安置一些輔助設(shè)備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過人凈系統(tǒng)，更換無塵衣，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。
9.給排水和送風裝置及電源
根據(jù)所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計，同時不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)。
潔凈室的規(guī)劃 一般性的規(guī)劃重點
潔凈室的整廠規(guī)劃(turn key projects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認下列事項： 1. 潔凈度等級。 2. 室壓之平衡措施。
3. 溫濕度要求。 4. 機器設(shè)備之必要性。
5. 確定生產(chǎn)流程。 6. 局部排氣之必要性。
7. 日后擴充彈性。 8. 足夠維護保養(yǎng)空間。
9. 空調(diào)送風方式。 10. 員工休息區(qū)之安排。
11. 設(shè)施與動力之配置。 12. 室內(nèi)凈高與樓板載重。
13. 設(shè)備空間與管道間。 14. 門窗宜少，氣密性要佳。
15. 靜電、振動及噪音。 16. 生產(chǎn)線與活動線少交叉。
17. 公害、污染與防災(zāi)。 18. 安裝及運轉(zhuǎn)成本之衡量。
潔凈室的動線規(guī)劃
所謂[動線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時，要檢討分析人(車)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)之流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染(cross contamination)。
要點：
1． 作業(yè)者、材料、化學藥品等動線勿集中。
2． 制造裝置之出入，需不對作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3． 超潔凈室四周，宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差潔凈區(qū))。
工業(yè)潔凈室(icr)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別
潔凈度(≥0.5μm，個/ft3)
1
10
100
1000
10000
100000
lsi制造工程
lsi組立檢查工程
(矽)單結(jié)晶
照像光罩photo mask
光阻涂膜photoresist
一般液晶(tn,stn)
顯示用液晶(tft,mim)
投影用液晶(tft)
混合(hybrid)ic
印刷基板材料
印刷配線板
電晶體、二極體
精密電子部品
磁頭
磁碟
電腦、磁碟裝置組立
錄影帶、光碟
照像底片
光織
精密軸承
光學鏡片
半導體制造裝置
潔凈管及閥類
lsi制造用化學藥品
精密測定機制造
清洗無壓衣
印刷、制版
生物潔凈室(bcr)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別 潔凈度(≥0.5μm，個/ft3)
1
10
100
1000
10000
(醫(yī)藥品)
抗生物質(zhì)
注射藥
血清
藥劑包裝過程
醫(yī)療用器具
(病院)
無菌手術(shù)室
手術(shù)室
無菌病室
調(diào)劑室
(食品)
牛乳·乳制品
食肉·食肉加工
煉乳制品
清酒·酒類
糕餅·豆腐
制果·面包
(動物實驗)
飼養(yǎng)區(qū)
隔離區(qū)
其他
磨茹·菌類培養(yǎng)
觀葉植物培養(yǎng)
化妝品
美國太空署(nasa)之無菌室規(guī)范重點(nhb-5340.2)
無菌室(bcr)潔凈等級 微粒子 微生物
粒徑 累積粒子數(shù)
個/ft3(個/l) 浮游量
個/ft3(個/l) 沈降量
個/ft2(個/m2)
100 ≥0.5 ≤100(≤3.5) ≤0.1(0.0035) 1200(12900)
10000 ≥0.5 ≤10000(≤350) ≤0.5(0.0176) 6000(64600)
≥0.5 ≤65(≤2.3)
100000 ≥0.5 ≤100000(≤3500) ≤2.5(0.0884) 3000(323000)
≥5.0 ≤700(≤25)
fs-209e潔凈度等級(1992年)
粒徑大小 ≥0.1μm ≥0.2μm ≥0.3μm ≥0.5μm ≥5μm
微粒子數(shù) 個/m3 個/ft3 個/m3 個/ft3 個/m3 個/ft3 個/m3 個/ft3 個/m3 個/ft3
s1制級 英制級
m1
350
9.01
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
m1.5
1
1240
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
m2
3500
35.0
757
21.4
309
8.75
100
2.83
m2.5
10
124000
2650
75.0
1060
30.0
353
10.0
m3
35000
99.1
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
m3.5
100
26500
750
10600
300
3530
100
m4
75700
2140
30900
875
10000
283
m4.5
1000
35300
1000
247
7.00
m5
100000
2830
618
17.5
m5.5
10000
353000
10000
2470
70.0
m6
1000000
28300
6180
170
m6.5
100000
3530000
100000
24700
700
m7
283000