大多數(shù)光學(xué)實驗或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求,各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實驗的進行。振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動。地面固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動,這一類振動需通過主動隔振光學(xué)平臺的隔振腿衰減,而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來隔絕。
光學(xué)平臺系統(tǒng)包括光學(xué)臺面和隔振腿,光學(xué)平臺可放置儀器并對振動進行控制。光學(xué)平臺臺面是隔振系統(tǒng)中重要的一部分,其主要作用是提供一個無相對形變的剛性平臺,當(dāng)有振動源傳遞到桌面時,桌面蜂窩結(jié)構(gòu)和阻尼可有效減弱光學(xué)平臺振動變形。隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地面的振動,隔振性能是其重要指標(biāo)之一。其他性能還包括:各腿高度獨立調(diào)節(jié),自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。
主動隔振光學(xué)平臺主要有以下特點:
1、高自由度硬安裝設(shè)計,無需空氣懸架;
2、頻率更高時,垂直和水平隔振率大于90%;
3、由于阻抗不匹配,可兼容儀器內(nèi)部隔離器;
4、數(shù)字控制器與基于pc的圖形用戶界面;
5、強大的控制系統(tǒng)無需定期重新校準(zhǔn);
6、隨著外部環(huán)境改變,系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)以適應(yīng)不同外部震動情形;
7、隔振開始于0.6赫茲,1hz時達到40%至70%的隔離率;
8、降低基礎(chǔ)設(shè)施的要求和建設(shè)成本,即使有較大外界震動設(shè)備也可正常運行;
9、主動硬式安裝結(jié)構(gòu)、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連;
10、被動彈簧濾除了來自傳感器的負(fù)載諧振,需要的調(diào)諧非常少,甚至無需調(diào)諧。