sf6氣體濕度的測量目前主要有四種方法：質量法、電解法、冷鏡露點法和阻容法。前三種方法是iec和國標推薦的方法，見iec60376《電氣設備中六氟化硫的技術規(guī)范》、gb/t5832.1-2003《氣體濕度的測定電解法》和gb/t 5832.2-2008《氣體中微量水分的測定第2部分，露點法》，質量法只適合于濕度仲裁，阻容法是近期才發(fā)展的新的測試方法。
1、質量法測量氣體濕度。
質量法測量sf6氣體濕度是應用高氯酸鎂吸收氣體中的水分，在通過一定量的sf6氣體后，稱量恒重后的高氯酸鎂增量。計算sf6氣體的濕度質量比。
2、冷鏡露點測量濕度。
根據(jù)露點溫度的定義，用等壓冷卻的方法使氣體中水蒸氣冷卻至凝聚相出現(xiàn)，或通過控制冷面的溫度，使氣體中的水蒸氣與水(或冰)的平展表面呈熱力學相平衡狀態(tài)。準確測量此時的溫度，即為該氣體的露點溫度，測量氣體露點溫度的儀器叫做冷鏡露點儀(簡稱露點儀)，露點儀的主要檢測部件是冷凝鏡(測量鏡)。
3、電解法測量氣體濕度。
電解法是采用庫倫電解原理來測量氣體中的微量水分(0~1000ppmv)，原理是通過被測氣體流經一個特殊結構的電解池，被測氣體中所含的水分被池內作為稀濕劑p2o5膜層吸收，并全部被電解，當吸收和電解過程達到平衡時，電解電流正比于氣體中的水含量。
4、氧化鋁阻容測量濕度。
氧化鋁阻容露點儀是根據(jù)水蒸氣與氧化鋁的電容量變化關系而設計的，氧化鋁傳感器由鋁基體、氧化鋁和金膜組成。將鋁絲或鋁片放在酸性水溶液中，通過交流氧化即成具有與濕度相關的氧化鋁薄膜，濕度與氧化鋁的阻容量呈相關變化。通過測量阻容變化的濕度測試儀器稱為阻容露點儀。
如何才能更準確地測量sf6氣體濕度，需要注意的事項：
1、測量管道和接頭等部件質量良好處理合格。推薦采用不銹鋼管道，也可采用聚四氟乙烯制作的測量管道。另外，要保持所有部件清潔干燥，減少測試誤差。
2、正確選擇測量儀器，保證儀器處于良好狀態(tài)。除正確保管儀器外.應定期進行校驗，一般每年校驗一次。
3、sf6綜合分析儀與sf6設備之間的管路連接應密閉不漏。
4、應采用合適的測量方法。如采用露點法的儀器。推薦取樣氣體的壓力為0.1mpa時進行測量。
5、宜在晴好天氣進行測量，以免空氣中過多的水蒸氣影響測量準確性。
6、環(huán)境溫度對測量氣體濕度也有相當大的影響，建議每次測量時的溫度相近.以利于比較。測量時的環(huán)境溫度在20℃左右為好，并在報告中注明測試溫度。
7、斷路器充氣后一般應穩(wěn)定48h后再進行測量。