rts-9雙電測(cè)四探針測(cè)試儀測(cè)量原理
雙電測(cè)組合四探針?lè)ú捎昧艘韵露N組合的測(cè)量模式（見(jiàn)圖1）。
將直線四探針垂直壓在被測(cè)樣品表面上分別進(jìn)行i14v23和i13v24組合測(cè)量，測(cè)量過(guò)程如下：
1.進(jìn)行i14v23組合測(cè)量：
電流ｉ從１針→４針，從２、３針測(cè)得電壓v23+；
電流換向，ｉ從４針→１針，從２、３針測(cè)得電壓v23-；
計(jì)算正反向測(cè)量平均值：v23＝(v23+ ＋v23-)／2；
2.進(jìn)行i13v24組合測(cè)量：
電流ｉ從１針→３針，從２、４針測(cè)得電壓 v24+；
電流換向，ｉ從３針→１針，從２、４針測(cè)得電壓 v24-；
計(jì)算正反向測(cè)量平均值：v24＝(v24+ ＋v24-)／2；
3.計(jì)算（v23／v24）值；
（以上v23、v24均以 mv 為單位）；
4.按以下兩公式計(jì)算幾何修正因子ｋ：
若 1.18＜（v23 ／v24）≤1.38 時(shí)；
k＝－14.696＋25.173(v23／v24)－7.872(v23／v24)2； …(1)
若 1.10≤（v23／v24）≤1.18 時(shí)；
k＝－15.85＋26.15(v23／v24)－7.872(v23／v24)2； …(2)
5.計(jì)算方塊電阻 r□ ：
ｒ□ ＝ｋ·(v23／ｉ) (單位：ω／□) ； …(3)
其中：ｉ為測(cè)試電流，單位：ma；
v23為從２、３針測(cè)得電壓v23+和v23-的平均值，單位：mv；
6.若已知樣品厚度w，可按下式計(jì)算樣品體電阻率ρ：
ρ＝r□·w·f(w/s)／10 (單位：ω.cm)； …(4)
其中：ｒ□為方塊電阻值，單位：ω／□；
w為樣片厚度，單位：mm（w ≤3mm）；
s為探針平均間距，單位：mm；
f(w/s) 為厚度修正系數(shù)；
7.計(jì)算百分變化率（以測(cè)試樣品電阻率ρ為例）：
ρm －ρm
大百分變化（％）＝─────×100％ …(5)
ρm
│ρa －ρc │
平均百分變化（％）＝─────────×100％ …(6)
ρc
２（ρm －ρm ）
徑向不均勻度ｅ（％）＝──────────×100％ …(7)
ρm ＋ρm
以上式中：ρm 、ρm 分別為測(cè)量的電阻率大值與小值，單位：ω.cm；
ρc 為第1、2 點(diǎn)（即圓片中心測(cè)量點(diǎn)）測(cè)量平均值，單位：ω.cm；
ρa 為除第1、2 點(diǎn)外其余各點(diǎn)的測(cè)量平均值，單位：ω.cm；
（若測(cè)量樣品的方塊電阻值,則將(5)、(6)、(7)式中的ρm 、ρm 、ρa 、ρc 分別改成ｒm 、ｒm 、ｒa 、和ｒc 。其公式意義與ρm 、ρm 、ρa 、ρc 相似）。