晶圓接觸角測量儀采用*的ccd數字攝像機，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度led背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺，可進行工作臺上下、前后等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮桿結構工作臺，能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節(jié)，擴大了儀器的使用范圍。軟件搭配修正功能，測試多次后的結果可以同時保存在同一報告下，能讓用戶更好的對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。
晶圓表面分析檢測測量系統(tǒng)、晶圓表面張力分析系統(tǒng)適用于半導體晶圓（wafer）工藝的質量控制。提供晶圓（wafers）表面的快速并準確的接觸角/表面能分析，從而評估粘性，潔凈度及鍍膜。采用輕量化的設計、組裝方便和新的基于windows標準的用戶友好型軟件，以創(chuàng)建一個即容又容易使用的接觸角測量儀系統(tǒng)。注射滴液機制可以抬起便于裝載，消除了對晶圓(wafers)可能產生的損壞。用于晶圓表面分析，同時也可用于其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件大可允許300 x 300 x 19mm。
接觸角測量儀主機及測試視頻的操作視頻及圖片：
（1）主機使用高強度航空鋁合金結構搭配模塊化設計理念，自主研發(fā)的集成芯片電路控制，保證儀器以佳狀態(tài)運行；
（2）成像部分使用高性能日本*工業(yè)機芯及無失真遠心鏡頭確保成像效果。
（3）工業(yè)級可調led單波長冷光源系統(tǒng)，成像更清晰
（4）自動位移平臺，實現y、z自動定位測量，定點地位更，測量效率更高
規(guī)格：
主機外形尺寸：1200mm（長）*600mm(寬)* 670mm(高) 主機凈重：55kg
工作臺面尺寸：420mm*420mm
工作臺移動：自動，行程160mm，精度0.01mm；上下移動 手動，行程20mm，精度0.01mm
進樣器移動：自動上下60mm（自動）; 左右30mm
工業(yè)鏡頭：前后移動30mm（微調3mm），0.7x *-4.5x連續(xù)變倍變焦顯微鏡
ccd：sony*高速工業(yè)級芯片； 鏡頭角度可調試：仰視、平視、俯視多視角觀察
光源：led可調節(jié)藍色基調工業(yè)級冷光源；使用壽命達貳萬伍仟小時以上
電源及功率：220v / 60hz
晶圓產品處理前word報告及測試圖片：我們對樣品進行十個點的測試，平均角度72.04度。
檢測單位
sindin
試驗日期
2018-10-09
操作人員
魏工
打印時間
14:36:02
固體試樣
晶圓
液體試樣
水
溫度(℃)
25
濕度(％)
60
產品名稱
物料號
12寸晶圓
備注
供應商名稱
視涯
試驗要求
未清洗前晶圓測試
大角度
82.38
小角度
67.48
平均角度
72.04
晶圓產品處理后word報告及測試圖片：我們對樣品進行十個點的測試后，再用等離子清洗機處理，平均角度16.58度。
檢測單位
sindin
試驗日期
2018-10-09
操作人員
魏工
打印時間
15:36:20
固體試樣
晶圓
液體試樣
水
溫度(℃)
25
濕度(％)
60
產品名稱
物料號
12寸晶圓
備注
供應商名稱
視涯
試驗要求
未清洗前晶圓測試
大角度
25.65
小角度
9.55
平均角度
16.58
標樣校檢報告：
儀器檢驗信息
儀器名稱：
接觸角測量儀
檢驗時間：
2018.10.08
儀器型號：
sdc-500
溫度：
27
儀器編號:
sdca1810001
濕度：
68%
測試方法：
橢圓法及圓環(huán)法基于大于等于20°使用橢圓法檢測小于20°用圓環(huán)法檢測
校正信息
精度：
±1°
校準度數：
3°60°120°115°
校驗標準：
標樣----含德國tuv認證的檢測報告
圓弧3°
圓弧60°
序號
標樣數據（°）
檢測數據（°）
誤差（°）
序號
標樣數據（°）
檢測數據（°）
誤差（°）
1
3
2.876
0.124
1
60
59.920
0.080
2
3
3.101
0.101
2
60
60.000
0.000
3
3
3.121
0.121
3
60
60.000
0.000
4
3
3.105
0.105
4
60
59.928
0.072
5
3
2.839
0.161
5
60
60.652
0.652
圓弧120°
橢圓115°
序號
標樣數據（°）
檢測數據（°）
誤差（°）
序號
標樣數據（°）
檢測數據（°）
誤差（°）
1
120
120.100
0.100
1
115
115.146
0.146
2
120
120.082
0.082
2
115
114.910
0.090
3
120
120.000
0.000
3
115
115.120
0.120
4
120
120.170
0.170
4
115
115.027
0.027
5
120
119.875
0.125
5
115
115.159
0.159
測試平臺移動確認：
合格
滴液精度：0.1μl
合格
測量范圍：0-180°
合格
測量軟件：
合格
測量精度：±0.1°
合格
測量重復性精度：±1°
合格
mapping功能
合格
外觀部件：
合格
輸出測量報告功能
合格
檢測數據：
合格
綜合判定：合格
校檢單位：東莞市晟鼎精密儀器有限公司
效驗人員：趙衛(wèi)主管：張新飛
晶圓系列接觸角測量儀對于工藝的表面涂覆評估；
表面污染物檢測；
表面親疏性的研究；
表面潤濕性能的判斷；
涂覆均勻性檢測；
涂覆質量評估；
表面清潔度檢測；
研究粘附性、潤濕特性、粘接質量、表面處理；
半導體晶片、硬盤、平板顯示器和生物材料等表面涂層的吸收研究。