sf6氣體回收裝置的凈化、干燥指裝置在不降低原氣體的純度情況下，對sf6氣體中所含有的固體雜質(zhì)、油份、水份加以去除，從而保證進入電器設(shè)備的sf6氣體的純度。一般的凈化干燥隨回收貯存和充放過程同步完成，自循環(huán)凈化方法如下：
sf6氣體回收裝置貯液罐內(nèi)sf6自循環(huán)時，開冷凍壓縮機、v5、v2、sf6壓縮機、v3。若sf6壓縮機排氣壓力太高可調(diào)節(jié)v2閥門開啟大小，以便氣體正常循環(huán)。
sf6氣體回收裝置自循環(huán)結(jié)束時，關(guān)v5、v2、sf6壓縮機、v6、冷凍壓縮機等。